RHH系列射頻電源

RHH系列射頻電源依靠成熟的射頻發(fā)生技術為基礎，為客戶提供更大的功率、精度更高、響應快速的射頻電源。具有相位可設、脈沖可控、數字調諧等功能。適用領域：光伏產業(yè)、平板顯示器行業(yè)、半導體行業(yè)、化工業(yè)、實驗室、科研、制造業(yè)等。
適用工藝：等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、反應濺射等。

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產品編號

產品系列:

RHH系列

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所屬分類

射頻電源



產品描述

參數

型號定義

主要參數

● 半磚和機架式安裝方式

● 采用全數字控制，具有便捷和豐富的操作菜單

● 頻率調諧、脈沖和脈沖同步功能

● 具備CEX相位同步功能

● 完善保護功能

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銷售熱線：0838-2900585 2900586
售后熱線：0838-2900488 0838-2900938
公司總機：0838-6930000
公司傳真：0838-2900985
電子郵箱：injet@injet.cn
公司地址：四川省德陽市金沙江西路686號

輸入	輸入電壓：AC220V±10% 3ΦAC380V±5%（特殊規(guī)格可定制）
輸入	輸入頻率：47~63Hz
輸出	輸出頻率： 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
	調諧范圍：±5%
	輸出功率：1.5~5kW
	輸出功率調節(jié)范圍：1~100%
	輸出阻抗：50Ω+j0
	輸出接口：N型
	輸出模式：連續(xù)、脈沖
	脈沖頻率：100Hz~100kHz
	占空比： 5~95%
性能指標	功率因數：0.98
	頻率穩(wěn)定精度：±0.005%
	效率：75%（額定輸出時）
	諧波：＜-45dBc
	雜散：＜-50dBc
	外部控制接口：模擬量、通訊、同步
	通信方式：標配RS485通訊接口；可選Ether CAT、工業(yè)以太網等
注：產品不斷創(chuàng)新，性能繼續(xù)提升，本參數說明僅供參考。